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         基于激光干涉燒蝕的硅表面微納結構制備研究

        王子涵 王寶續 釜野勝 徐微微

        [摘要]基于納秒激光雙光束干涉燒蝕技術,輔助利用濕法腐蝕技術,并結合時域有限差分法,從實驗和理論上分析研究了硅表面不同周期微納結構的制備和形成機制。結果表明:波長為355 nm的納秒激光,可在硅表面干涉燒蝕出600 nm以上周...

         PDF全文激光與光電子學進展 | 2019, 56(16):163201

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